NanoView -C는 Compact Type으로. 고성능을 구현한 제품 으로 뛰어난 측정 재현성과 간편한 조작성으로 R&D .불량분석등의
나노미터의 표면 형상 측정 및 분석에 있어서 탁월한 성능을
발휘합니다.

Interferometric Objectives : Single Lens Available
Vertical Resolution : WSI : ＜ 0.5nm / PSI : ＜ 0.1nm
Stage Tilt : ±3°
Z Stroke : 30mm (Manual)
Workpiece Stage : 50x50mm (Manual)

-비접촉식으로 0.1nm-270um까지의 3차원 표면형상를 고정도, 고속측정.
-나노미터 오더의 뛰어난 재현성과 간편한 조작성.
-터럿을 이용한 간편한 배율조정.
-정합기능 사용으로 넓은 면의 세밀한 분석.

-FPD
TFT-LCD, BLU , PDP . OLED , FED 미세형상 및 거칠기 측정.
-반도체/PCB
BGA, IC Package, PCB Substrate, Wafer 표면 측정
-기타
MEMS, 광학렌즈, 박막의 단차, 각종 정밀 기계 가공물등의 표면형상 측정.

Interferometric Objectives : 5 Lens Available (Manual Turret)
Vertical Resolution : WSI : ＜ 0.5nm / PSI : ＜ 0.1nm
Tip /Tilt : ±6° (Probe Tip/Tilt)
Z Stroke : 100mm (Manual)
Workpiece Stage : 100x100mm (Motorized)

-광간섭을 이용한 3차원 표면형상 측정
-확장된 측정 Range (5mm Option)
- Auto Focus 기능(Option)
- 대면적 대응
- Line Profile 기능

Interferometric Objectives : 5 Lens Available (Motorized Turret)
Z축 측정 영역 : 0-180um(Option 270um , 5mm)
Lateral Resolution : 0.2 ~4um
                                    (Objectives / FOV Lens Dependent)
Tip /Tilt : ±6° (Probe Tip/Tilt)
Workpiece Stage : NV-P2020 / 200x200mm (Motorized) .
NV-P4050/400x500mm (Motorized)